1、适用工艺：TOPCon、PERC
2、HF槽有用长度：2.0~2.3米
3、轨道数：12道182；10道210
4、额定带速：4.5~5.0m/min
5、装备产能：182:≥16000片/小时；210:≥12500片/小时
6、装备特点：
1）高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮，有用阻止翻液及过刻；
2）细腻化智能化动力水膜控制，无极控速控流，细密控制水膜量；
3）多匀流+多流道准确流体流场设计，液面更稳固；
4）多区流体液面控制，准确控制刻蚀阶段液面高度；
5）超等风刀，高带速吹干效果稳固
6）...
